1、分辨率：半导体金相显微镜因为光的干涉与衍射作用，分辨率只能范围于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源，其分辨率可到达1-3nm之间，所以半导体金相显微镜的构造观察属于微米级分析，扫描电镜的构造观测属于纳米级分析。

　　2、景深：一般半导体金相显微镜的景深在2-3um之间，所以对样品的表面滑腻程度具有极高的要求，所以制样过程相对相对复杂。扫描电镜的景深则可高达几个。

　　以上内容即是对半导体金相显微镜与扫描显微镜有什么区别的介绍了，扫描电子显微镜类型多样， 差别类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以到达1nm，扩大倍数可以到达30万倍及以上连续可调;并且景深大， 视野大， 成像立体效果好。