晶圆显微镜是按照光学原理，用电子束和电子透镜替代光束和光学透镜，放纵物资的细小组织在异常高的开放倍数下成像的仪器。近年来，电镜的贯通和建造有了很大的导源：一方面，电镜的分辨率不绝提升，透射电镜的点分辨率及了0.2-0.3nm，晶格分辨率仍然及0.1nm近侍，穿越电镜，人们仍然能径自观赏到原子像；另一方面，除透射电镜外，还导源了多种电镜，如扫描电镜、剖析电镜等。电子显微镜的审察能耐虽已远胜于光学显微镜，但晶圆显微镜因需在真空要求下处事，因此很难观赏活的生物，并且电子束的照耀也会使生物样板遭到辐照损失。

　　电子显微镜由电子光学体系、真空体系和供电体系三部门构成。

　　一、电子光学体系

　　1、电子光学体系重要有电子枪、电子透镜、样板架、荧光屏和相片机构等部件，这些部件每每是从上到下地装置成一个两个面互相平行且大小。

　　2、电子枪是由钨丝热负极、栅极和负极形成的部件。它能放射并构成速率平均的电子束，因此加快电压的稳定度提出具体愿望或条件不低于可表示绝对值很小。

　　3、电子透镜是电子显微镜镜筒中很大的部件，它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场放纵电子轨迹向轴线曲折构成聚焦，其感化与玻璃凸面镜放纵光束聚焦的感化犹如，因此叫做电子透镜。当代电子显微镜大多采纳电磁透镜，由很结实的直流励磁电流穿越带极靴的呈环形的导线绕组诞生的强磁场放纵电子聚焦。

　　二、真空体系：为着一定的目的包管真在一切通道中只与试样派生相互作用，而不与气氛份子派生困顿，以是，晶圆显微镜一切电子通道从电子枪至相片底板盒都需要置于真空体系之内，普通真空度为10-4～10-7毫米汞柱。

　　三、 供电体系：透射电镜供给两部门电力线路：一是供应电子枪的高压部门，二是供应电磁透镜的低压稳流部门。电力线路的稳定性是电镜本能贤愚的一个很是重大的记号。因此，对供电体系的重要提出具体愿望或条件是诞生高结实的加快电压和各透镜的激磁电流。古代仪器所说的不计算在内上述电力线路部门外，另有主动操纵程序控制系统和数据处理的计算机体系。