标本有滑腻的反射面产生的图像，由于晶圆检查金相显微镜部分反射光到物镜。在从四周介质中，或发生的折射率梯度（在边缘的膜）的折射率差别的环境下，光的折射的试样。这两种环境下，反射和折射产生的光的方向的比较较小的角度变化，容许少许进入物镜。与此相反，少许光撞击试样也是衍射，穿过整个物镜的数值孔径范围内的光，产生一个180度的弧。

晶圆检查金相显微镜的物镜的分辨能力是相像的明视场条件下所观察到的，但在暗场照明的图像的光学字符不是忠实地再现（除非行使一个专门设计的可变光阑时降低的有效数值孔径与高倍率油浸专为暗视野显微镜物镜）。在上述的例子中的星光的可见性也大大进步了由光辉试样和暗环抱之间的对比度。